株式会社和泉テック
提案公募型技術開発事業
当社は、工業系の新素材、環境、科学、物理、電気等に関した設計、製造も手掛ける「ものづくりのできる商社」です。
昨今のIoT化や各種機器の多様化に伴いセンサーデバイスの多種多様化が著しく進展する状況において、MEMSセンサーデバイスの高機能化と多品種少量生産プロセスの低コスト化が課題となっています。
このため、「反応性ヘリコン波プラズマプロセスを用いたミニマルファブ用MEMS向け高速エッチャーの開発」をテーマに、当機構の提案公募型技術開発事業を活用して、経済産業省の戦略的基盤技術高度化支援事業(通称「サポイン事業」)に申請し採択されました。
現在も産学官連携で取組んでおります。
